带外辐射 编辑

在极紫外光刻进行曝光时,光源中的非13.5nm波长的成分
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在极紫外光刻进行曝光时,光源中的非13.5nm波长的成分,称为带外辐射

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中文名:带外辐射

外文名:outofbandradiation

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