扫描式电子显微镜 编辑

分析仪器
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扫描式电子显微镜是一种用于材料科学、纺织科学技术领域的分析仪器,于2016年10月28日启用。

基本信息

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中文名:扫描式电子显微镜

产地:日本

学科领域:材料科学、纺织科学技术

启用日期:2016年10月28日

所属类别:分析仪器>电子光学仪器>扫描电镜

技术指标

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放大倍数:5-300000倍;分辨率:高真空:3nm(30KV)/8nm(3KV)/15nm(1KV) 低真空:4.0nm(30KV) ;电子枪:全自动,亦可手动调整;样品台:大全对中型X=80mm,Y=40mm,Z=5到48mm,倾斜:-10 - +90度,旋转:360度;灯丝:工厂预对中灯丝(钨);图像模式: 二次电子像,成份像,拓扑像,阴影像;加速电压:5-30KV ; 聚光镜:可变焦聚光镜; 物镜:超级锥形物镜; 物镜光阑:3档,X-Y可细调; 电位移:±50微米; 自动能:聚焦,亮度,衬度,消像散; 最大样品:直径为150mm; 样品交换:抽拉式样品台; 真空系统:全自动扩散泵DP。

主要功能

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JSM-6510A/ JSM-6510LA分析型扫描电子显微镜,与日本电子公司的元素分析仪(EDS),统合于一体。结构紧凑的EDS由显微镜主体系统的电控制,操作员只用一只鼠标,就可完成从图像观测到元素分析的整个过程。