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热阴极 编辑
中文名：热阴极
分类：热阴极与冷阴极
方法：电离规稳定性的比较
影响：使校准工作变得更为复杂
热阴极是通过阴极材料的热电子发射而获得电子流的一种阴极，热阴极的加热方法有两种：对发射体或它们的基金属直接通电进行加热的叫做直热式阴极；对热子进行通电加热，再由热子将热量辐射和传导给发射体的阴极叫做间热式阴极。按阴极制备材料的不同，又有纯金属阴极、原子薄膜阴极、氧化物阴极和扩散阴极、六硼化镧阴极等之分。
热阴极与冷阴极电离规稳定性的比较研究
电离规作为参考标准或副标准时,稳定性尤为重要.通常在校准服务中,只有热阴极电离规用作参考标准或副标准,不采用冷阴极电离规的传统原因是冷阴极电离规的非连续性、低压力下放电延迟效应以及它的不稳定性等.尽管现代反磁控型冷阴极电离规被认为解决了这些问题,但没有足够的数据来证明这些特性.作者介绍了对3个热阴极电离规和2个反磁控型冷阴极电离规的校准结果,校准采用的是高真空基础标准,校准范围为10-7～10-3Pa,校准气体包括N2、Ar、He和H2.在1×10-4Pa恒定压力下连续72h观测中,热阴极电离规在N2、Ar和He中的稳定性优于反磁控规,但在H2中所有规的稳定性相似.在6个月的重复校准中,所有规在N2、Ar和He中的长期稳定性相似,但在H2中反磁控规的长期稳定性优于热阴极电离规.对于不同的气体,反磁控规的非连续性出现于不同的压力点,反磁控规的非连续性使校准工作变得更为复杂.
中国热阴极电离真空计市场分析报告
研究了在热阴极辉光放电等离子体化学气相沉积金刚石膜过程中,热阴极辉光放电特性与金刚石膜沉积工艺的关系.结果表明,适当的阴极温度是保证大电流、高气压辉光放电的必要条件.阴极的温度影响辉光放电阴极位降区的放电性质.金刚石膜的沉积速率随着气体压力(16～20kPa)的升高而上升,在18.6kPa左右出现最高值,而阳极位降区电场强度的降低使膜品质下降.放电电流(8～12A)对沉积速率的影响与气体压力的影响具有相似的规律.
