洁净度编辑

空气环境中空气所含尘埃量多少的程度

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洁净度系指空气环境中空气所含尘埃量多少的程度。在一般的情况下，是指单位体积的空气中所含大于等于某一粒径粒子的数量。含尘量高则洁净度低，含尘量低则洁净度高。

以前有关国家都有各自制定自己的标准，但基本上都是参照美国标准FS-209的各版进行，仅单位制及命名方法有所变换或改变。在命名上基本可分为两类：一是以单位体积空气中大于等于规定粒径的粒子个数直接命名或以符号命名，这种命名方法以美国FS-209A~E版为代表，其规定粒径为0.5μm，以空气中≥0.5μm粒径的粒子浓度采用英制pc/ft³直接命名，如标准中的100级，表示空气中≥0.5μm粒径的粒子浓度为100pc/ft³直接命名，即每立方英尺的空气中≥0.5μm粒径的粒子数量为100个。二是以单位体积空气中≥规定粒径的粒子个数以10ⁿ表示，按指数n命名空气洁净度的等级，这种命名方法以日本JISB9920为代表，其规定粒径为0.1μm，以空气中≥0.1μm粒径的粒子浓度（采用国际单位制）10pc/m³命名为n级。

洁净度等级

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洁净度等级与浓度的关系式如下：

式中 N—洁净度等级，数字不超过9，洁净度等级之间的中间数可以按0.1为最小允许递增量；

D—要求控制的粒径，μm；

—大于或等于要求控制粒径最大允许浓度（最大浓度限值），pc/m³（粒/米³），其值4舍5入至相近整数，有效位数不超过3位。

例如，5级洁净室，≥0.5μm粒子的最大浓度限值为

≈3520pc/m³。由于洁净技术起源于美国，最早的标准都是英制。英制洁净度等级用≥0.5μm粒子的英制浓度来命名。例如，≥0.5μm粒子的允许浓度为100pc/ft³（约3520pc/m³）的洁净室，其洁净浓度称为100级。我国1984年的《洁净厂房设计规范》还沿用了英语制等级名称—100级、1000级、1万级、10万级，工程中还在应用这种名称。上述4个等级与GB50072-2001规范中的5、6、7、8级相接近。洁净室的洁净度等级值越小，级别越高。同一等级的洁净室，根据工艺要求可对其中1~2种粒径的粒子浓度进行控制。例如，6级洁净室可要求≥0.5μm的粒子浓度不大于35200pc/m³和≥5μm的粒子浓度不大于293pc/m³。